掃描電子顯微鏡　JSM-6510系列

　　JSM-6510是一款高性能低價(jià)格的掃描電子顯微鏡，分辨率可達3.0nm.可按用戶(hù)要求定做的操作接口便于用戶(hù)直觀(guān)操作儀器。Smile　Shot？軟件保證得到*電子光學(xué)參數。JSM-6510的LGS型大樣品臺和GS型普通樣品臺可分別裝6英寸直徑和32mm直徑的樣品。

　掃描電子顯微鏡主要特點(diǎn)

　　1.強大的電子光學(xué)系統，簡(jiǎn)單操作

　　I　設計的超級圓錐型物鏡，保證3nm的分辨率。很容易得到高質(zhì)量照片。

　　II　廣域掃描線(xiàn)圈可以得到zui低5倍的放大倍數從而提高觀(guān)察樣品的效率。

　　III　優(yōu)秀的電子光學(xué)系統可以在大束流下形成小束斑，有利于微區分析。

　　2.高分辨率

　　I　JSM6510系列超級圓錐形物鏡，在工作距離8mm時(shí)的分辨率為3nm，超級圓錐形物鏡

　　2的外形設計可以做到短工作距離情況下樣品仍然可以大角度傾斜。

　　3.全自動(dòng)電子槍

　　2　I　JEOL開(kāi)發(fā)的全自動(dòng)電子槍能夠產(chǎn)生極小電子束源，只要選擇好加速電壓，就可以進(jìn)行觀(guān)察或成分分析。

　　II　電子槍偏壓是調節電子槍亮度的重要部件。JEOL的無(wú)縫自給加壓系統能隨著(zhù)電壓變化隨時(shí)調整偏壓，使得無(wú)論選擇哪個(gè)加速電壓，都能得到*亮度。

　　III　JEOL*的像散記憶功能能夠自動(dòng)糾正隨加速電壓或工作距離改變而產(chǎn)生的像散。

　　1KV　5KV

　　10KV　20KV

　　4.多圖顯示模式

　　3　I　主顯示區可以同時(shí)顯示兩幅實(shí)時(shí)圖像，分別為二次電子像和背散射電子像，參考區也可顯示2幅實(shí)時(shí)圖像，例如二次電子圖像，背散射電子圖像或CCD相機圖像。

　　II　雙實(shí)時(shí)顯示模式可以用于不同信號圖像的對比，用戶(hù)可在觀(guān)察表面形貌的同時(shí)了解樣品的成份分布情況。

　　III　選用多種圖像顯示模式時(shí)，點(diǎn)擊“PHOTO”按紐可同時(shí)獲得并存儲2或3幅全屏尺度圖像。

　　5.簡(jiǎn)單易懂的操作接口及菜單

　　I　操作接口簡(jiǎn)單，直觀(guān)，默認的操作接口顯示了zui常用的功能按鈕，并以簡(jiǎn)單圖文標明，點(diǎn)擊鼠標即可操作所有功能。

　　II　實(shí)時(shí)量測，圖片上的長(cháng)度和角度等結構細節能在顯示器上進(jìn)行測量。

　　6.可變焦聚光鏡修正

　　I　做表面觀(guān)察和元素分析等不同應用時(shí)，選擇合適束流非常重要，一般是通過(guò)聚光鏡與物鏡光闌來(lái)控制電子束流的。如果在調整束流過(guò)程中，焦點(diǎn)和觀(guān)察區域位移變化很小，調整起來(lái)會(huì )比較方便。JEOL*的可變焦聚光鏡可以保證這一點(diǎn)。

　　掃描電子顯微鏡小束流中等束流大束流

　　7.全對中樣品臺

　　I　當樣品臺傾斜時(shí)，全對中樣品臺可使圖像位移和焦點(diǎn)變化zui小。使用此樣品臺可多方向觀(guān)察粗糙表面樣品，采用一些不同角度攝取的圖片組成立體圖片，可通過(guò)立體圖片觀(guān)察深度。

　　8.低真空SEM

　　I　低真空掃描電鏡，除了包括高真空模式外，還包括低真空模式，在低真空模式下，不導電樣品以及容易放氣的樣品都可以直接觀(guān)察。結合JEOL*的冷凍干燥技術(shù)，可在低真空模式下快速觀(guān)察含水樣品。