X射線(xiàn)熒光是原子內產(chǎn)生變化所致的現象。一個(gè)穩定的原子結構由原子核及核外電子組成。其核外電子都以各自特有的能量在各自的固定軌道上運行，內層電子（如K層）在足夠能量的X射線(xiàn)照射下脫離原子的束縛，釋放出來(lái)，電子的逐放會(huì )導致該電子殼層出現相應的電子空位。這時(shí)處于高能量電子殼層的電子（如：L層）會(huì )躍遷到該低能量電子殼層來(lái)填補相應的電子空位。由于不同電子殼層之間存在著(zhù)能量差距，這些能量上的差以二次X射線(xiàn)的形式釋放出來(lái)，不同的元素所釋放出來(lái)的二次X射線(xiàn)具有特定的能量特性。這一個(gè)過(guò)程就是我們所說(shuō)的X 射線(xiàn)熒光(XRF) 。